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名称：气动执行器带储气罐
一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺
本发明公开了气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺，包括步骤（1），提供导向杆碳钢基材，抛光表面放置在酸溶液中，清洗干燥；步骤（2），利用霍尔气体离子源对预处理基材进行气体轰击，步骤（3），使用Nd:YAG脉冲激光打孔机在基材表面打圆孔；步骤（4）ZrB2靶和MoS2靶，在基材表面形成固体涂层，然后在表面工艺处理后得到导杆。气动执行器应用的导杆具有优异的耐磨性、耐腐蚀性、自润滑性和硬度。
主权项目：1。气动执行器采用低磨损导杆制备工艺，包括以下步骤：步骤（1），提供导杆碳钢基板，抛光其表面，抛光碳钢基板放置在酸性溶液中，充分清洗干燥，获得预处理基板。步骤（2）利用霍尔气离子源轰击基材，加强预处理基材表面，霍尔源工作电压为500~1800V，600~8000~℃，轰击时间2～3h。采用步骤(3)Nd：YAG脉冲激光冲孔器在基材表面打孔(2)，孔径为0.06～0.1mm，表面织构化基材的面积率为10%~25%。步骤（4）采用磁过滤沉积技术沉积在基材表面ZrB2靶和MoS2靶，在基材表面形成固体涂层，然后得到表面工艺处理后的导杆。
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